在半导体产业链的核心环节中，关键光学检测模组曾长期被国外厂商垄断，依赖进口的现状不仅推高了国产设备的研发与制造成本，更成为制约半导体设备自主化进程的核心瓶颈之一。

面对这一亟待突破的“卡脖子”难题，北京中科慧仪科技有限公司（简称“中科慧仪”）总经理袁智超带领核心技术团队，锚定纳米级精度光学检测模组的自主研发与规模化量产目标，摒弃技术跟随的路径，从底层技术到工艺体系持续攻坚，为国产半导体设备迈向“自主可控”提供关键支撑。

凭借过硬的技术实力与产品竞争力，成立仅1年多，中科慧仪累计订单金额就已突破6000万元，产品相继为国内头部设备商实现批量交付，并成功进入东南亚市场，展现出中国硬科技企业加速崛起的强劲势能。

冲击纳米级工业检测难关

在中国科学院自动化研究所求学时，袁智超主攻机器视觉方向研究，在工业视觉类检测设备研发过程中取得了突破。“2016年，我就跟着导师前往一个盖板玻璃生产车间，在真正的生产环境下调试样机。”袁智超回忆，几乎整个研究生生涯，他都在与自动光学检测设备打交道，这为他的创业之路奠定了坚实的技术基础。

从光学系统的设计，到整机的控制系统、软件和算法，都由他进行设计。在硕士毕业前，他已经完成了一套手机盖板缺陷检测的设备研发。“这种自动化检测设备，能真正推动工业领域‘机器换人’的应用。”袁智超说，当时恰逢一些手机代工厂质检人员短缺，自动化检测设备的出现，弥补了这个短板，也让相关技术在行业内得到快速推广。

随着研发的不断深入，袁智超发现，人工智能领域正在逐渐变得火热，出现了一波令人欣喜的发展浪潮。于是，在2021年，他选择投身创业大潮，推动自动光学检测设备在半导体行业内的应用。

半导体量检测设备是集成电路制造工艺中不可缺少的组成部分，贯穿于集成电路领域生产过程的每一个环节。它们在芯片设计、生产、封装和测试等各个环节扮演着关键角色，确保半导体器件的质量和性能优异。

通常来说，机器视觉在面板检测领域的检测精度在10微米左右，但随着半导体制程的不断升级，需要关注的瑕疵缺陷要达到纳米量级。直到站在半导体生产线前，袁智超才意识到，由于半导体制造流程极长，每个环节的加工质量都直接关系到最终芯片生产的良率。要将3C领域的检测设备推广到半导体行业，设备核心能力需要进行一番脱胎换骨的提升。

勇迎挫折百炼终成钢

“坦白讲，那时我们是初生牛犊不怕虎，低估了半导体检测的难度。最初设计的系统，无法在半导体产线上实现稳定运行，反复分析后才发现，系统的原始设计逻辑就存在问题。”袁智超笑着回忆，面对一系列似乎“遥不可及”的参数目标，他和团队成员选择扎根在车间一线，反复打磨产品。

早上8点进场，凌晨2点才收工，他们就这样连续攻关了一整年，针对生产线上的具体需求一边研发、一边交付。“那台设备，除了最外面的框架和内部的大理石平台，所有的零部件都至少换了一遍。”这段令袁智超难忘的攻关经历，成为中科慧仪后续产品研发的技术基石。

“当然，在打磨技术的同时，我觉得创业之路上，提升对行业的认知同样重要。”从启动方案研发，到产品能够批量产出，袁智超和团队一起奋斗了5年之久。“我们花了很多精力去理解半导体行业，打好基础之后，就能势如破竹。”

如今，好消息接踵而至。2024年6月，中科慧仪半导体量检测产品实现批量交付；2025年3月，生物扫描平台成功研发；2025年10月，推出全新的高速同轴线光谱产品……其中，袁智超自豪地分享，高速同轴线光谱产品的综合效率，比国际上的同类产品要高出4倍。

“现在，我们始终保持一个追赶者的姿态。很幸运，目前这个赛道得到了大家的高度关注，国家有引导、基金在扶持，也有一批企业家投身其中。”袁智超说，目前，同类公司每年的业务量都以倍率增长，行业整体正跑在一条“快车道”上。

扎根科创沃土建全流程体系

在中关村U30这个平台，已经先后历经两次创业的袁智超，与更多硬科技赛道的创业者相识。“这是一个沟通交流的良好平台，我们的交流不局限于各自的行业领域，而是在不同赛道之间进行碰撞，未来或许还能展开进一步合作，这让我十分期待。”他说，中关村是创业的先锋区域，中科慧仪则落户在作为北京市“三城一区”主平台之一的怀柔科学城。这样浓厚的科创氛围，对企业的发展是良好助力。

在公司发展初期，中科慧仪获得了来自中科光荣和怀柔硬科技基金的天使轮投资，园区也为他们提供了租金补贴、人才政策等方面的支持。随着怀柔区着力打造仪器和传感器产业集群，袁智超在“家门口”就结识了越来越多的上下游兄弟企业。行业资源的高度集聚，帮助中科慧仪的发展走上了快车道，“同在高端仪器领域，兄弟企业之间都会互通有无。”

接下来，袁智超的工作计划表排得很满。“为了把控产品品质，我们要在研发投入的基础上，同步在生产制造方面进行提升，建设自己的生产、组装车间。”袁智超憧憬着，尽快建立一条从研发到设计生产，再到模组调试，最终完成出货的全流程体系，实现对重点客户的批量供货。此外，中科慧仪还计划在稳固国内市场的基础上，持续开拓海外市场。展望2026年，该公司在海外的订单金额预计将有两至三倍的增幅。

从实验室到生产线，创业多年，袁智超始终不忘初心。“中科慧仪不仅致力于服务中国半导体产业，更希望通过持续的技术积累，为全球产业链注入新的活力。”他说。

来源:《中关村U30》特刊